반도체·디스플레이 공통 핵심장비개발 지원이 본격화된다.
한국산업기술평가관리원(KEIT)은 반도체 소자 및 디스플레이 패널 제조에 공통 사용될 수 있는 핵심기술과 제조장비 상용화를 위한 `반도체-디스플레이 공통 핵심장비 기술개발` 3개 과제 지원 대상을 선정했다고 4일 밝혔다.
이번 사업은 올해로 종료되는 `나노반도체장비 원천기술 상용화` 후속 사업이다. 각 분야 공통 최첨단 핵심장비 개발을 목표로 2015년까지 4년간 총 400억원의 정부자금이 투입된다.
지원 대상으로 선정된 장비분야는 반도체·디스플레이 증착, 식각, 측정 등 분석공정에 적용되는 핵심장비 기술에 대한 3개 과제다. 또 추가로 열처리와 세정 장비 분야도 지원할 계획이다.
과제별 주관기관은 증착(성균관대, 원익IPS, 아바코), 식각(KAIST, 에이피티씨, LIG에이디피), 측정분석(명지대, 오로스테크롤로지, 솔브레인이엔지) 등 각 분야별 3곳이다.
KEIT 장선호 전기전자평가팀장은 “이번 사업을 통해 반도체, 디스플레이 분야에 개별 진행되던 정부 R&D사업을 통합 지원함으로써 효율성을 높일 것”이라며 “핵심원천기술에서 장비 상용화 기술까지 종합 개발해 세계적 수준의 장비기술력을 확보할 수 있을 것”이라고 밝혔다.
KEIT는 5, 6일 양일간 라마다프라자 제주호텔에서는 사업전략 협의를 위한 총괄워크숍을 개최한다.
홍기범기자 kbhong@etnews.com
