대진기계, 미 CSI사와 솔라용 단결정 성장로 공동개발

　대진기계(대표 배병찬)는 미국 CSI(Confluence Solar)사와 함께 기존 방식보다 획기적으로 개선된 단결정 성장로를 개발하는데 성공했다고 26일 밝혔다.

　반도체, LCD 장비 공급업체인 대진기계는 그동안 축적된 장비개발 경험을 바탕으로 CSI사가 의뢰한 솔라용 단결정 성장로 상용화를 끝내고, 지난 24일 처음으로 선적을 시작했다.

　 그동안 단결정 성장로는 단결정 로드하나를 성장시킨 후 전원을 끄고 세정하고 다시 폴리실리콘(Poly silicon)을 장입한 후 단결정을 성장시키는 배치방식으로 수행되어 왔다.

　 솔라용 단결정 실리콘 로드 생산업체인 미국 CSI는 기존의 단결정 성장로방식 보다 생산성 향상 및 제품의 품질을 크게 개선한 연속 성장법(Continious) 방식의 단결정성장로 제작을 대진기계에 의뢰하고 두 회사의 기술진이 약 3년여의 연구개발을 통해 제품을 실용화하는데 성공했다.

　 이번에 성공한 단결정 성장로는 단결정 로드를 성장시키는 것과 동시에 폴리실리콘을 투입하여 연속적으로 몇 개의 단결정 로드를 성장시키는 방식으로, 최종 제품을 만들 때 하나의 공정조건으로 동일한 제품을 만들 수 있는 큰 장점이 있기 때문에 공정관리와 생산성 향상에 크게 도움이 될 것으로 예상된다.

　 대진기계는 이번 장비 개발과 함께 CSI사의 수요확대에 발맞춰 오는 1월중

　현재 신축중에 있는 구미 제4 산업단지에 공장으로 이전할 계획이다.

　 황병렬 대진기계 솔라 인고트 사업담당 사장은 “지난 30여 년간 최첨단 제품에 소요되는 각종 장비를 국산화하면서 축적된 기술을 바탕으로 이번에 솔라용 단결정 성장로를 개발하게 됐다”며 “앞으로 미국 CSI사와 최첨단 장비 개발과 공급을 확대해 나갈 계획”이라고 말했다.

김승규기자 seung@etnews.co.kr