어플라이드머티어리얼즈는 한 시간당 180개 이상의 웨이퍼를 처리하고, 30%의 생산비용을 절감할 수 있는 식각장비인 ‘어플라이드 센트리스 어드밴티지 메사 에치(Applied Centris™ AdvantEdge™ Mesa™ Etch, 이하 센트리스)’를 출시한다고 30일 밝혔다.
어플라이드의 ‘센트리스’는 최대 4개의 챔버를 설치할 수 있었던 기존 구조에 비해 2배가 많은 8개의 챔버로 장비를 설계할 수 있어 공정속도를 두 배 가까이 상승시켰으며, 보다 효과적인 공간의 활용과 에너지의 절감을 통해 운영비를 약 30%가량 절약할 수 있다.
이 장비는 22나노미터(nm) 이하로 공정되는 최상급의 로직 칩과 메모리 칩을 제조할 수 있으며, 각 웨이퍼 마다 옹스트롬(angstrom: 1미터의 100억 분의 1) 수준의 높은 균일도로 칩을 생산할 수 있다. 반도체 식각장비는 실리콘 웨이퍼에 전류가 흐르는 패턴을 새겨 미세회로를 형성하는 식각공정에서 사용되는 장비로 처리속도가 빠르고 각 웨이퍼의 회로를 균일하게 공정 할수록 경쟁력을 갖는다. 이 제품은 12월 1일부터 3일까지 일본의 치바에서 열리는 `2010 세미콘 재팬(SEMICON Japan 2010)’에서 소개될 예정이다.
유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr
