[충청광역경제권] <대전권> 정부출연연·대학 - KAIST 나노종합팹센터

나노종합팹센터(센터장 이귀로)는 지난 2004년 5월 출범, 그동안 우리나라를 대표하는 나노기술 관련 지원기관으로 발돋움했다.

　KAIST부설 기관인 나노팹센터는 국내 최고 수준의 빠르고 정확한 나노공정서비스를 기반으로 나노 반도체 핵심재료, 공정, 소자에 대한 세계적 지식재산권(IPR) 확보 및 연구성과 사업화를 추진중이다.

　나노기술은 10억분의 1미터 수준의 영역에서 물질의 구조, 형상 등을 제어하는 기술이다. 기존의 기술을 혁신해 새로운 기술을 창출함으로써 경제와 자원, 식량, 에너지, 환경 등 인류가 직면한 여러 문제를 해결하는 기술로 각광받고 있다.

　이 센터는 그동안 다양한 나노분야 최첨단 장비와 시설, 핵심공정기술을 구축했다. 국내 나노 연구개발과 산업화를 종합적으로 지원할 수 있는 국가 공용 나노인프라 시설을 보유하고 있다.

　지금까지 1200억원 규모의 나노CMOS, NEMS/MEMS, 바이오, 신소재분야의 첨단 장비를 구축, 운용중이다. 핵심공정기술을 기반으로 기초원천기술에서 산업화 기술까지 다양한 연구개발 분야를 지원하고 있다.

　현재 전국적으로 산학연을 포함 561개기관에서 3410여명의 연구자가 장비활용, 공동연구개발 등 매월 700여 건의 서비스를 제공받고 있다.

　첨단 장비와 시설 활용을 통해 대학과 산업체에서 필요로 하는 현장 실무형 전문인력을 양성하는데도 심혈을 기울이고 있으며, 최근 정부로부터 나노기술 전문인력양성센터로 지정받아 체계적이고 전문적인 인력교육에 나서고 있다.

　장비구축과 함께 다양한 연구개발 지원을 위해 핵심공정기술을 확보, 실제 연구개발에 적용하고 있다. 이 가운데 CMOS 표준공정플랫폼은 나노를 기반으로 바이오, 신소재, IT융합기술을 접목할 수 있는 토대를 마련했다. 이 같은 핵심기술력을 바탕으로 3차원 집적회로(3D-IC) 상용화기술, 차세대 퓨전메모리, SOD 물질 등을 개발해 연구개발 수준과 산업화 가능성을 한 단계 끌어올렸다.

이귀로 센터장은 “대학과 연구소 등을 중심으로 한 기초 및 원천기술개발과 산업체의 상용화 기술개발을 동시에 지원함으로써 아이디어에서 시제품 제작 및 평가까지 일괄개발지원시스템을 구축해 운영 중”이라며, “특히 지난 4월에는 나노기술 연구 및 제조서비스 부문에 대한 품질경영시스템(ISO 9001) 인증을 획득함으로써 고품질의 연구개발서비스 제공을 위한 기반을 갖췄다”고 말했다.

대구=정재훈기자 jhoon@etnews.co.kr