반도체 소부장

디엠에스, 기판 처리시스템 특허

전자신문을 선호 매체로 추가

디엠에스는 FPD 기판 처리시스템에 대한 특허를 취득했다고 26일 공시했다.

해당 기술은 베스 내부의 구조를 효율적으로 개선, 전체 장비 사이즈의 축소와 베스 내부의 밀폐성을 향상시키고 부식 등으로 인한 시스템 내구성 저하를 방지할 수 있다.

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