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코미코, LCD장비 부품 코팅 관련 특허

코미코는 이온주입장치의 내부구조물 및 상기이온 주입장치의 코팅층을 형성하는 방법과 플라즈마 용사 코팅용 분말은 제조하는 방법 등 반도체·LCD 장비의 부품 코팅사업에 사용할 수 있는 특허를 취득했다고 26일 공시했다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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