반도체 소부장

에스티아이, LCD 식각기 특허

에스티아이는 LCD 글라스 슬리밍 공정에 적용되는 식각기용 카세트에 대한 특허를 취득했다고 30일 공시했다.

해당 장비는 식각 공정시 글라스의 유동에 의한 충격을 완화시켜 글라스의 손상을 막으며, 식각공정에 사용되는 식각액이 카세트에 유착되는 것을 막아준다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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