미국 LCD 장비업체 AKT(대표 강인두)는 8세대 LCD 제조용 인라인(in line) 방식 물리적증착장비(PVD)를 출시했다고 23일 밝혔다.
PVD는 LCD 기판유리에 투명전도성산화(TCO) 재료와 금속을 증착하는데 사용된다.
AKT가 새로 선보인 인라인 방식 PVD는 5개의 챔버가 중앙 공정 챔버에 오각형 형태로 붙어 기판유리를 하나씩 번갈아 가며 증착하던 기존 클러스터 방식과 달리 챔버가 일직선으로 구성돼 멈춤없이 기판유리를 흘려보내며 증착할 수 있다. 또 병렬처리 기술을 도입해 하나의 챔버가 고장나도 다른 챔버를 멈추지 않고 계속 공정을 진행할 수 있는 것도 특징이다.
AKT 강인두 사장은 “인라인 방식은 증착에 사용되는 재료 이용률을 기존 제품보다 3배 이상 높일 수 있다”며 “이 제품은 낮은 유지비용으로 제조원가 절감할 수 있는데다 생산성까지 높여준다”고 설명했다.
AKT는 이 장비를 삼성전자 등 주요 LCD업체 8세대 라인에 공급할 계획이다.
장지영기자@전자신문, jyajang@
