국내 반도체·디스플레이장비업체인 세메스와 오스트리아 세즈간의 2년에 걸친 싱글 웨이퍼 프로세서(SWP·사진) 관련 특허 소송이 세메스의 승리로 최종 마무리됐다. 세메스의 SWP 장비 해외 수출이 한층 탄력을 받을 것으로 기대된다.
세메스(대표 이승환 www.semes.com)는 지난 2005년 세즈를 상대로 청구한 ‘원판형 공작물 에칭장치’ 특허무효 소송에서 지난해 고등법원과 대법원의 승소 판결을 받은데 이어, 최근 1개항에 대한 특허법원 후속 파기환송심에서도 승소 판결을 받았다고 28일 밝혔다.
이에 따라 세메스는 2005년 세즈를 상대로 청구한 11개항 특허무효 소송에서 모두 최종 승소했다.
양사의 특허 소송은 세즈가 세메스를 상대로 2005년 초, SWP 장비의 ‘원판형 공작물 에칭장치(특허등록 제120321호)’ 11개항 특허를 침해했다면 침해금지 소송 및 가처분 신청을 내면서 시작됐다.
세메스는 이에 맞서 ‘특허무효 심판 청구’ 소송을 제기해 특허심판원(1심)에서 11개 항 모두에서 승소 판결을 받았으나 특허법원(2심)에서는 1개항(배기 챔버가 구비되어 있는 수직이동식 웨이퍼 척에 대한 특허)에 세즈 특허를 인정하는 일부 승소판결이 내려졌다. 이에 불복해 세메스는 대법원(3심)에 상고해 지난 6월 다시 11개 항 전부 승소 판결을 얻어냈고, 이번에 대법원이 2심 판결을 파기해 환송한 건에 대해 추가 증거가 나타나지 않음에 따라 특허법원 후속 파기환송심을 거쳐 승소 판결을 최종 확정했다.
세즈는 대만 반도체업계에 SWP 장비를 90% 가까이 독점 공급하고 있는 업체로, 세메스가 자체 개발한 SWP 장비를 이노테라 등 대만업체에 공급하자 한국에 등록한 특허를 내세워 세메스를 상대로 한국특허심판원에 특허침해소송을 제기했었다.
이승환 세메스 사장은 “외국 회사들의 무분별한 묻지마식 특허소송에서 이겨 앞으로 수출을 비롯해, 반도체 매엽식 세정장비 시장에서 마케팅 강화에 의한 매출증대 효과가 나타날 것”이라며 “연간 5000억원으로 추산되는 전세계 반도체 세정 장비 시장을 적극 공략해 대만·중국 등 아시아시장에서만도 연 1000억원 이상의 추가 매출을 기대할 수 있게 됐다”고 밝혔다.
SWP는 반도체 제조의 식각·세정·연마 공정에 사용되는 매엽식(웨이퍼를 1장씩 가공하는 방식) 세정설비로, 웨이퍼 표면에 형성된 패턴(미세회로)에 남아있는 오염물을 제거하거나 표면의 막질을 필요한 양만큼 에칭할 수 있는 장치다.
심규호기자@전자신문, khsim@
