정진욱 한양대 교수, 표준연과 공동으로
한양대 전기제어공학과 정진욱 교수는 한국표준연구원(원장 정광화)과 2년간 공동 연구를 통해 반도체 장비에 사용되는 플라즈마의 상태를 실시간으로 점검할 수 있는 모니터링 장비 ‘WIPS’를 개발했다고 20일 밝혔다.
이 장비는 반도체의 식각 및 증착 공정에 사용되는 플라즈마의 이상 유무를 실시간으로 점검해 플라즈마 오류로 발생하는 공정 불량률을 최소화해준다.
정 교수는 “반도체 게이트 에칭과 같은 정교한 식각작업에서 플라즈마 상태를 균일하게 유지해주는 것은 수율향상과 공정 최적화를 위해 매우 중요한 작업”이라며 “이 장비는 그동안 플라즈마 빛의 밝기나 스펙트럼과 같은 간접적인 데이터를 분석하던 장비와 달리 플라즈마를 구성하는 전자와 이온의 정보를 바로 분석해 실시간으로 보여줘 신뢰성이 매우 높다”고 설명했다.
정 교수는 또 “현재 이 장비를 국내 소자업체 양산라인에서 데모 테스트를 진행 중이며 장비업체 피앤에이솔루션즈를 통해 상용화할 방침”이라고 덧붙였다.
정 교수는 이 장비 연구결과를 23일 서울교육문화회관에서 열리는 반도체연구조합 주최하는 ‘시스템IC2010사업 나노공정 분야 기술 교류회’에서 발표할 예정이다.
장지영기자@전자신문, jyajang@
