풍산마이크로텍, 진입장벽 높은 반도체 첨단 기술 장비로 승부수

　반도체 리드프레임 전문업체인 풍산마이크로텍이 반도체웨이퍼 열처리 장비를 미국 반도체 연구조합인 세마텍과 미국 시스템반도체업체인 프리스케일에 납품하는 개가를 올렸다.

류태완 풍산마이크로텍 사장은 14일 “프리스케일에 납품한 고압 중수소 열처리장비는 제품 개발 기간이 1년 여에 불과해 실리콘밸리 반도체장비업계에서 기네스북에 오를 만한 일”이라며 “R&D를 공격적으로 진행해 고압열처리장비를 비롯한 고압 응용장비 개발을 강화, 비메모리시장 뿐 아니라 D램·낸드 등 메모리 장비로 시장을 넓혀 나갈 것”이라고 덧붙였다.

풍산마이크로텍은 올해를 반도체 장비시장에 진출하는 원년으로 삼아, 오는 2010년 반도체 장비 매출 1200억원, 리드프레임 매출 1800억원을 합쳐 총 매출규모를 3000억원의 첨단기술기업으로 거듭난다는 목표다.

풍산마이크로텍은 첨단 장비 개발을 위해 미국 실리콘밸리 샌타클래라에 반도체 열처리 장비 연구소를 설치한 것을 비롯, 광주과학기술원 등 국내 원천기술 보유기관과의 협력을 통해 기술 기반을 확보했다.

류 사장은 “실리콘벨리는 반도체 관련회사가 밀집해 있는 반도체기술의 메카로 풍산마이크로텍은 현지 연구소를 통해 필요에 따라 최첨단 기술진들을 빠르게 채용하고 적재적소에 배치함으로써 성과를 극대화했다”고 설명했다.

풍산마이크로텍이 타깃으로 하는 분야는 반도체공정에 필수적인 고압 프로세스로, 이번 납품에 성공한 고압산화로는 기존 산화로로 일주일 걸려 길러낼 수 있는 두툼한 실리콘 산화막을 단 2시간만에 길러낼수 있는 장비다. 특히 실리콘 웨이퍼 선폭을 미세화하는데 쓰이는 고유전물질(high-K)을 소자에 증착하는 저온고압 수소가스 열처리 장비여서, 40나노 이하 초미세공정에서 널리 활용될 전망이다. 고압 프로세스 장비는 위험도가 높아 기술에 대한 신뢰성이 확인되지 않으면 라인에 설치 허가를 내 주지 않는 공정관리자들의 기피 1호 장비다.

신규업체라는 핸디캡을 극복하고 세계 주요 반도체업체에 납품 기회를 얻은 것은, 빠르고 안정적인 신규 사업 진입을 위해 장비사업부를 직접 실리콘벨리에 설치하는 초강수를 둔 것이 주효했다.

심규호기자@전자신문, khsim@