관련 통계자료 다운로드 미코씨엔씨의 열분해 공법 세정기술 미코씨엔씨(대표 이동근)는 LCD 증착장비의 오염 물질을 크게 줄여주는 열분해 공법의 세정 신기술을 개발했다고 4일 밝혔다.
이번에 개발한 신기술은 기존 화학물을 통해 증착장비 챔버(chamber)를 세정하던 기술과 달리 열분해를 통해 오염된 챔버 알루미늄의 밀착력을 약화시킨 뒤 물리적으로 오염물을 박리하는 것으로 장비 부품 수명연장에 매우 효과적이라고 회사측은 덧붙였다.
이동근 대표는 “신기술 세정공법을 적용하면 챔버 부품 수명을 5배 연장시켜 제조업체별 LCD 패널 제조공정 기준으로 연간 50억원 상당의 비용 절감 효과를 거둘 수 있다”며 “화학물을 쓰지 않아 친환경적인데다 오염물질 제거시간도 2∼5시간으로 크게 단축할 수 있다”고 설명했다.
미코씨엔씨는 코스닥 등록기업인 코미코의 자회사로 LCD 증착장비 세정 신기술 개발에 이어 LCD 컬러필터 제조 공정에서 발생하는 오염물질을 제거하는 새로운 세정기술 개발에도 박차를 가하고 있다.
장지영기자@전자신문, jyajang@
