ASML-나노특화팹 제휴

　화합물반도체 나노소자 연구기관인 나노소자특화팹센터(대표 고철기 www.kanc.re.kr)와 네덜란드계 반도체장비업체인 에이에스엠엘(ASML)는 반도체 IP 공동개발에 협력키로 했다고 25일 밝혔다.

　두 회사가 개발하는 반도체 IP는 패턴형성공정의 하나인 T게이트프로세서를 기존 E빔에서 KrF로 전환하는 과정과 관련된 것이다. 이를 위해 ASML는 개발에 필요한 장비를 제공하고 나노소자특화팹센터는 ASML의 반도체 공정 및 장비 기술 개발의 노하우를 활용하게 된다.

　이를 통해 나노소자특화팹센터는 전문 IP를 확충할 수 있게 되며, ASML는 나노소자특화팹의 청정실, 공정·특성평가 장비 및 시설을 이용한 연구개발이 가능해 진다. 이 과정에서 개발된 IP는 나노소자특화팹센터와 ASML이 공동으로 소유권을 갖는다.

　심규호기자@전자신문, khsim@