반도체를 생산할 때 ‘나노 공정’이라는 말을 듣게 되는데, 어떤 기준으로 나노를 나누게 될까?
예를 들어, 0.13㎛ 공정은 130㎜로도 부를 수 있기 때문에 모든 공정을 나노 공정이라고 칭할 수 있게 된다. 기준이 애매모호해서 업계에서는 일반적으로 반도체의 회로 선폭을 100㎚ 이하로 생산하는 반도체 공정을 나노 공정이라고 한다.
그래서 0.13㎛ 공정까지는 미크론 공정이라고 부르고 90㎚ 공정부터 나노 공정이라고 부른다. 현재 개발된 반도체 중 가장 작은 회로 선폭을 갖고 있는 것은 40나노 낸드플래시로, 올해 삼성전자가 개발했다.
CPU를 비롯한 시스템반도체는 65㎚ 제품까지 나와 있는 상태며, 내년에는 45㎚ 시스템반도체가 등장할 것으로 기대되고 있다. D램은 50나노 대의 제품이 가장 작은 선폭을 갖고 있다.
문보경기자@전자신문, okmun@
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