주성엔지니어링 등 반도체장비업체들이 유기발광다이오드(OLED) 양산을 위한 4세대 대형장비를 이미 선보이거나 곧 출시한다.
삼성SDI와 LG필립스LCD 등 주요 OLED업체들의 능동형(AM) 패널 양산이 초읽기에 들어간 가운데 국내 장비 업체들이 4세대(730×920㎜) 대형 장비 출시에 박차를 가하고 있다.
에이엔에스 배경빈 사장은 “대형 OLED 라인 가동을 위한 장비 개발이 한창”이라며 “내년 하반기에는 4세대 OLED 장비 수요가 본격적으로 일어날 것으로 보고 준비 중”이라고 말했다.
주성엔지니어링(대표 황철주)은 4세대용 OLED 생산 장비를 최근 공개했다. 이 장비는 증착기뿐 아니라 전 공정을 한 장비 내에 포함시킨 인라인 형태이다. 현재 주요 고객사와 공급을 위한 협의를 진행 중이다.
최근 에스엔유프리시젼에 인수된 에이앤에스(대표 배경빈)는 내년 하반기 출시를 목표로 4세대 OLED 증착 장비 개발을 진행 중이며 두산디엔디(대표 전명식)는 4세대 R&D 장비 납품 경험을 바탕으로 5세대 제품까지 개발을 진행하고 있다. 선익시스템(대표 이응직)과 디오브이(대표 윤근천)도 4세대 이상의 유리기판에 대응하는 대면적 및 초정밀 제어가 가능한 증착 장비를 개발하고 있다. LG필립스LCD에 LCD용 식각 장비를 공급하는 에이디피엔지니어링(대표 허광호)도 OLED 장비 생산을 검토 중인 것으로 알려졌다.
국내 업체들은 아직 표준화된 공정 기술이 정해지지 않은 4세대 이상 대형 OLED 시장으로 들어서면서 일본 기업들이 장악한 OLED 장비 시장의 주도권을 찾는다는 계획이다. 이에 따라 기존 상향식 증착 방식을 개선한 하향식이나 유리를 세워서 작업하는 등의 기술 개발을 시도하고 있다. 그러나 4세대 이상 대형 라인 가동을 위한 장비재료 및 공정 기술이 아직 완전히 해결되지 않은 것은 장비 개발의 걸림돌로 지적된다. 업계 한 관계자는 “대형 공정에서도 휨이 적은 마스크나 효율을 높인 재료 증착 기술 등이 필요하다”며 “향후 패널 업체와 끊임없는 조정 작업을 거쳐 신뢰성 있는 장비를 내놔야할 것”이라고 말했다.
한세희기자@전자신문, hahn@
