삼성전자가 국내외 주요 반도체 장비 협력사에 제조 공정 내 인공지능(AI) 적용을 주문했다. 반도체 장비 오류·결함을 사전에 파악, 인적 개입을 최소화하고 생산성을 대폭 끌어올리려는 시도다.
14일 업계에 따르면 삼성전자 DS부문은 주요 반도체 장비 협력사와 AI 기능 강화를 위한 협의에 착수했다. 어플라이드 머티어리얼즈·ASML·램리서치·도쿄일렉트론(TEL)·KLA 등 세계 상위 5대 장비사와 국내 핵심 협력사가 협의 대상에 포함된 것으로 알려졌다.
사안에 밝은 업계 관계자는 “삼성전자가 장비 협력사에 장비 고장과 오류를 사전에 파악하고 사람이 직접 수리·보정하는 과정을 줄이기 위해 AI를 공정 장비에 탑재하길 요청했다”며 “장비사는 이 같은 주문에 맞춰 삼성전자 반도체 생산 라인에 최적화하는 작업을 준비 중”이라고 전했다.
삼성전자가 요구하는 대표 기능은 예지보전이다. 장비에 탑재된 센서로 각종 진동·온도·전류 상태 데이터를 지속 수집하고 분석해 정비하는 방식이다. 오류·고장 징후를 미리 파악할 수 있어 사후 보전 대비 인력 투입과 비용 소모를 줄일 수 있다.
최근에는 AI 기술로 예지보전 성능을 대폭 강화하는 추세다. 사물인터넷(IoT) 센서와 AI 분석으로 고장뿐만 아니라 잔존 수명 예측, 문제 해결 방안까지 도출하는 수준까지 왔다.
삼성전자는 AI를 활용해 장비 성능 고도화를 추진하려는 것으로 풀이된다. 궁극적으로 반도체 제조 공정 품질과 생산성을 동시에 높이는 게 목표다. 특히 사람이 직접 장비를 고치는 사후서비스(AS)를 최소화할 수 있는 '무인화' 역량을 최우선 확보하려는 것으로 관측된다.
현재는 반도체 장비에 문제가 발생할 경우 상시 대기하는 기술 지원 인력을 투입해야 한다. AI를 통해 이를 최소화하고 반도체 전체 공정의 생산성을 강화하려는 것이다.
반도체 장비 업계 관계자는 “불량 발생을 AI로 사전 예측하고 자체적으로 대응할 수 있는 인프라를 구축하려는 시도”라며 “단순히 부품이나 웨이퍼를 자동으로 이동시키는 수준을 넘어 AI 기반 스마트 팩토리를 구현하려는 것”이라고 말했다.
삼성전자가 공정 내 AI 기능 고도화에 나선 만큼, 반도체 장비 업계에 미칠 파급력도 만만치 않을 전망이다. 다양한 공정 불량 데이터를 학습하고 이를 통해 예지보전 가능한 모델을 구축하는 등 장비 업그레이드가 필수여서다. 삼성전자가 AI 예지보전 등 강화된 기능을 장비 납품 기본 요건으로 요구할 가능성도 제기된다.
앞서 삼성전자는 장비 가동 시 사람이 직접 조작하는 것을 최소화할 자동화 기능을 반도체 장비 납품 기본 요건으로 내걸기도 했다.
업계 관계자는 “장비 협력사 입장에서는 기술 지원 인력 운용 등 사업 전략에도 변화가 요구된다”며 “삼성전자 장비 공급망에 미치는 여파가 클 것”이라고 말했다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
