전자 중공업 아토, 반도체용 특수가스 사업 역점 발행일 : 2006-05-08 16:52 업데이트 : 2014-02-14 21:33 지면 : 2006-05-08 24면 공유하기 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게