풍산마이크로텍, 실리콘밸리에 반도체장비硏 오픈

풍산마이크로텍(대표 손홍근 http://www.psmc.co.kr)이 미국 실리콘밸리 샌타클래라에 반도체 열처리 장비 연구소를 열었다고 31일 밝혔다.

　이 회사는 실리콘 웨이퍼 선폭을 미세화하는데 쓰이는 고유전물질(high-K)을 소자에 증착할 수 있는 저온고압 수소가스 열처리로를 실리콘밸리 연구소에서 개발하게 된다. 이 장비는 45㎚ 공정기술을 사용한 S램 칩 제조에 필수적인 장비이다. 또 기존 반도체 웨이퍼 고온 열처리 장비를 대신할 경우에도 전력관리 칩의 수명을 5배 이상 연장시키고 구동속도도 15% 정도 향상시킬 수 있다고 회사측은 설명했다.

　풍산마이크로텍은 3월까지 기존 열처리로 장비를 저온고압열처리로 장비로 개조하고 8월까지 테스트를 거쳐 미국 세마텍(SEMATECH)에 납품할 계획이며 2007년에 3만6000달러의 매출과 1만달러의 영업이익을 올린다는 목표다. 이 연구소는 기존 리드프레임 및 장비의 현지 판매를 위한 영업소 기능도 하게 된다.

　한편 이날 열린 연구소 개소식에는 류진 풍산 회장을 비롯, 세마텍·IBM·TI·HP 등 주요 반도체 업계 관계자들이 참석했다.　

한세희기자@전자신문, hahn@