아이엠티, 세계 최초 반도체 소켓 세정장비 개발

　아이엠티(대표 최재성 http://www.imt-c.co.kr)는 세계 최초로 레이저를 이용한 반도체 소켓 세정장비<사진>를 개발했다고 30일 밝혔다.

이 장비는 반도체 패키지를 테스트할 때 접촉하게 되는 부위인 소켓을 세정해 오염으로 인해 발생하는 수율 감소를 방지한다. 레이저를 이용한 반도체 소켓 세정은 새로운 아이디어로, 반도체업계에서 이를 사용하는 것도 사실상 처음이다.

지금까지 소켓세정은 작업자가 수시로 솔을 이용해 세정하거나 장비에서 소켓을 분리해 외주 세정을 해왔다.이 장비를 적용할 경우 자동화된 공정을 통해 신속한 세정·비용절감·공정시간 단축 등이 가능하고, 테스트 수율도 3∼5% 높일 수 있다고 회사 측은 밝혔다.

아이엠티 측은 “S사에 대한 추가 납품이 기대되고 있으며 대만 등 외국 반도체 회사로부터의 제품 문의도 늘고 있다”고 밝혔다.

한편 아이엠티는 △웨이퍼 세정기 △몰드 세정기 △이미지 센서 세정기 등 다양한 분야의 레이저 세정장비를 개발 중에 있다.

심규호기자@전자신문, khsim@