세메스, 삼성전자에 납품

　세메스(대표 이승환)는 차세대 반도체 습식 세정장비 ‘오션<사진>’을 개발, 삼성전자에 납품했다고 17일 밝혔다.

　오션은 기존 세정장비인 웨트스테이션 대비 크기는 반이며 시간당 400장 이상의 웨이퍼 처리가 가능한 고기능 습식 세정장비다.

　세메스는 이 장비 개발을 위해 2년 간 연인원 25명, 총 개발비 50억원을 투입했다. 특히 이 장비 제조에는 유닛 집적·표준화 방식을 도입해 장비 제작기간을 30% 단축했으며, 기존 장비 대비 오염지수를 낮춰 나노공정에 적합한 세정능력을 갖췄다고 회사 측은 설명했다.

　이승환 사장은“이달 공정평가를 거쳐 올해 양산에 들어가 연간 500억원 이상의 매출을 올릴 계획”이라고 말했다.

　한편 세메스는 지난해 2048억원의 매출을 올렸으며, 올해는 차세대 장비 양산 및 LCD라인 공장자동화·LCD 모듈장비 사업 진출을 통해 업계 최초로 3000억원대 매출 달성을 목표로 하고 있다.

　 심규호기자@전자신문, khsim@