한국디엔에스, 대만 이노테라에 300밀리 매엽식 세정장비 수출

　반도체 및 FPD 장비업체인 한국디엔에스(대표 임종현 www.kdns.co.kr)는 국내 최초로 자체 개발한 300㎜ 매엽식 세정설비(모델명:SWP 3004 Spin Wet Processor 사진)를 대만 이노테라에 첫 수출했다고 14일 밝혔다.

이 제품은 반도체 제조의 식각, 세정, 연마 공정에 사용되는 매엽식(싱글 웨이퍼 프로세서, 웨이퍼를 1장씩 가공하는 방식) 세정설비로, 웨이퍼 표면에 형성된 패턴(미세회로)을 필요한 부분만 남기고 케미컬(약품) 또는 가스로 제거하는 장비다.

특히 4단 챔버로 구성된 ‘SWP 3004’는 웨이퍼 처리속도가 빠르며, 기존의 배치(웨이퍼를 카세트에 여러장 담아 동시에 가공하는 방식) 타입보다 미세화된 웨이퍼 배선 제조공정에 적합한 매엽식 처리방식을 채택, 손상과 입자오염이 적고 온도균일성과 가공정밀도가 우수하다고 회사 측은 설명했다.

심규호기자@전자신문, khsim@