반도체 테스트용 장비, 국내기업이 선도

차세대 반도체 테스트장비인 초정밀 전자기계(MEMS) 프로브 카드는 국내 업체가 선도하고 있는 것으로 나타났다.

　3일 특허청에 따르면 반도체 테스트 장비에서 MEMS 프로브 카드는 핵심특허를 국내 업체가 보유하고 제품화에 성공한 기술분야로 분석된다.

　관련 특허는 지난 1998년 처음으로 3건이 출원됐으며 2001년 8건, 2002년과 2003년에는 각각 9건이 출원되는 등 현재까지 모두 34건이 출원돼 해마다 특허출원이 증가하고 있다.

　이 기술은 기존 제품에 대한 교체수요, 반도체 생산량의 증가, LCD 생산업체의 투자확대로 2004년 상반기 200% 이상의 매출증가율을 기록하면서 빠른 성장을 거듭하고 있다.

　특히 기존 과정에 비해 테스트 비용과 시간을 4분의 1 이하로 대폭 줄일 수 있게 되면서 기존 테스트를 대체할 것으로 예상되고 있다.

　특허청은 전세계 프로브 관련시장은 약 7억달러 규모로 오는 2008년에는 약 10억달러를 넘을 것으로 예측된다고 설명했다.

　MEMS 프로브 카드는 반도체·디스플레이의 제작 도중 또는 후에 성능을 테스트하기 위해 웨이퍼와 테스트 장비를 연결해주는 장치로, MEMS 기술을 활용한 초미세 탐침을 배열한 조립체다.

　 심규호기자@전자신문, khsim@