주성 하이닉스 미국현지법인에 원자층증착장치 1대 공급 계약 체결

반도체 및 LCD전공정장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)은 하이닉스 반도체의 미국현지법인에 원자층증착장치(ALD·제품명 Cyclone) 1대의 추가 공급계약을 체결하였다고 24일 밝혔다.

이번에 계약을 체결한 장치는 올해 주성이 하이닉스 양산라인에 이미 공급한 6대의 원자층증착장치와 동일한 200㎜용 장치로 한 챔버 내에서 4장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있는 2개의 챔버로 구성돼 있다.

이로써 주성은 9대의 ALD 장치를 포함, 올들어 총 12대의 반도체 장치를 수주했다.

심규호기자@전자신문, khsim@