두산디앤디, 삼성전자에 능동형 OLED 디스플레이장비 공급

국내 OLED장비업체가 국내 기술로 현존하는 세계 최대크기의 OLED 증착장비를 개발, 대기업에 납품한다.

두산디앤디(대표 명준식)는 삼성전자로부터 능동형 OLED 디스플레이 장비를 수주했다고 24일 밝혔다.

이번에 공급되는 장비는 4세대급으로(730x920mm)으로 고분자 OLED 패널은 물론 저분자 OLED 패널도 제작할 수 있으며 기술상의 이유로 활용이 어려웠던 패시베이션(OLED 칩 표면에 보호막을 씌우는 작업) 방식의 봉지 공정이 도입된다.

또 이 장비에는 국내를 비롯해 PCT(특허협력조약)에 가입된 전세계 100여개 국에 원천기술 특허를 출원한 바 있는 스트레칭 글래스 척 기술이 적용된다. 스트레칭 글래스 척은 3세대 이상의 초 대면적(550×670mm) OLED 기판에 가장 큰 문제점으로 대두된 기판의 처짐 문제를 해결할 수 있도록 두산디앤디가 세계 최초로 개발한 장치이다.

현재 OLED 증착장비로 상용화된 사이즈는 370x470mm가 최대 사이즈며 세계 최대 OLED증착 장비업체인 일본 도키와 국내 선익시스템 등이 550x670mm의 파일럿 장비를 개발한 것으로 알려졌다.

한편 두산디앤디는 OLED장비업체인 DR진공을 인수, OLED 증착장비에 뛰어들었으며 이번 제품 개발을 계기로, 국내는 물론 대만, 중국 등 해외 관련업체에 기술 및 장비공급을 추진이다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>