유니셈, 연소식가스세정기 삼성전자에 납품

　반도체장비 제조업체인 유니셈(대표 정진기 www.uni-sem)은 기존 국내 장비업계들이 외국사와의 제휴를 통해 수입 공급했던 연소식가스세정기(Burn-Wet Gas Scrubber)를 자체개발, 국내 최초로 삼성전자와 5억원 규모(1차 분)의 장비 납품 계약을 체결했다고 5일 밝혔다.

이 장비는 연소식 세정기로 가연성, 수용성은 물론 불화탄소(PFC) 가스 등 다양한 가스처리가 가능하고, 특히 지구온난화 환경규제 대상인 불화탄소(PFC) 가스를 99.99% 이상 제감 할 수 있다.

유니셈측은 이미 일본과 대만에 본 장비를 납품해 안정성과 가스 제감처리 효율을 검증 받았으며, 국내 삼성전자에서도 수입품과 비교한 테스트를 수개월에 걸쳐 실시하여 납품이 이뤄졌다.

이 장비의 국산화로 연간 200∼300억원의 수입대체 효과가 기대된다고 유니셈측은 밝혔다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>