울산화학, 반도체·LCD 특수가스 시장 `출사표`

　울산화학이 반도체 및 LCD 특수가스 시장에 본격 진출한다.

　울산화학(대표 지해석 http://www.fsucc.co.kr)은 최근 세계적 산업가스 전문업체 미국 프락스에어와 7년간 1억달러 규모의 삼불화질소(NF₃) 공급계약을 채결했다고 25일 밝혔다.

　NF₃는 반도체 및 LCD의 세정공정에 쓰이며 최근 시장이 급격하게 성장하는 특수가스로 국내 D사가 현재 삼성전자, LG필립스LCD 등에 공급하고 있다.

　지해석 사장은 “회사가 지난 99년부터 약 50억원을 투자, 올 4월에 독자 개발한 NF₃는 전세계에 상용화된 재품중 가장 품질이 우수하고 경쟁력이 있다고 자신한다”며 “지난해 9월부터 연 10톤 규모로 시험생산을 마쳤으며 내년 7월 완공 계획으로 특수가스 공장을 건설중”이라고 말했다.

　이 회사는 내년까지 1단계로 연 250톤 규모의 NF₃ 제조공장을 건설하며 2006년까지 연 500톤 규모로 확장할 계획이다.

　지 사장은 “프락스에어 외에 국내외 주요 반도체·LCD 업계 및 중간 공급자들과 현재 추가 공급 계약을 추진중”이라며 “반도체 관련 가스분야에 회사의 핵심 역량을 집중할 계획”이라고 말했다.

　한편 울산화학은 NF₃ 독자 개발과 수요 업체 공급을 계기로 특수가스 시장에 본격 진출하기로 했으며 내년까지 고순도 암모니아 등을 생산할 예정이다. 또 SiF₄ 등의 특수가스도 내년까지 개발을 완료하기로 했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>