주성엔지니어링, 대만에 5세대용 PECVD 장비 수출

　주성엔지니어링(대표 황철주)은 대만 CMO(Chi Mei Optoelectronics Corp)사와 5세대 TFT LCD용 PECVD장비 공급계약을 체결했다고 28일 밝혔다.

　주성엔지니어링은 내년 3월 선적 예정인 이 장비는 주성이 보유하고 있는 원천기술인 지그재그 타입(ZigZag)의 디자인을 적용한 독특한 챔버로 구성했으며 기존 5세대 장치보다 업그레이드돼 생산성이 증대됐다고 설명했다.

　주성의 한 관계자는 “이미 6세대용 장비를 개발완료했으며 7세대 장치 개발에 까지 연장하여 적용할 수 있는 매우 혁신적인 기술이기 때문에 차세대 LCD 장치분야에서도 세계적인 경쟁우위를 지속할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

　한편 대만 CMO사는 세계 5위의 TFT LCD생산 업체로 2003년 올 한해동안 7억100만달러 상당의 설비투자 계획을 발표한 바 있으며 주성은 올 6월에 이미 대만 CMO사와 5세대용 LCD장치 1대 공급계약을 체결한 바 있다.

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>