주성, 6세대 PECVD 첫 개발

주성엔지니어링(대표 황철주·트렁도운 http://www.jseng.com)이 6세대 TFT LCD용 플라즈마화학증착장비(PECVD·모델명 EUREKA6000)를 개발, 양산라인에 적용할 계획이라고 5일 밝혔다. 국내 업체가 6세대 LCD 핵심장비인 PECVD를 개발하기는 이번이 처음이다.

　현재 5세대 이상 대면적 기판용 PECVD는 미국 어플라이드머티리얼스의 자회사인 AKT가 전세계 시장의 80% 이상을 독점, 주성이 LG필립스LCD 6세대 라인에 대량 공급할 경우 AKT와 양강체제를 갖출 것으로 전망된다. 신제품은 LG의 6세대 기판 규격인 1500×1850㎜에 맞춰 디자인됐다.

　주성 관계자는 “기판이 커졌음에도 우수한 체임버 설계로 5세대와 거의 똑같은 플라즈마 균일도를 유지하는 것을 확인했다”며 “체임버 대형화에 따른 처리속도 저하를 막기 위해 반송 및 플랫폼과 관련한 특허기술을 적용한 결과, 5세대용 장비보다 생산성이 오히려 25% 증가했다”고 말했다.

　이 관계자는 또 “이번에 개발한 6세대 CVD는 대면적 기판처리를 위한 각종 특허기술이 적용돼 7세대 CVD 개발에도 그대로 적용할 수 있는 것이 특징”이라고 덧붙였다.

　주성은 6세대용 PECVD는 대당 100억원에 달한 5세대 장비에 비해 일반적으로 25∼50% 비싼 가격에 공급될 것으로 기대하고 있다.

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>