국산 CVD업체들, 나노종합팹 수주 경쟁

　‘나노종합팹센터를 잡아라.’

　정부가 최첨단 나노기술(NT) 개발을 위해 설립중인 나노종합팹센터에 들어갈 장비 발주가 임박함에 따라 국내 반도체 화학기상증착(CVD:Chemical Vapor Deposition) 장비업체들의 수주경쟁이 점화되고 있다.

　KAIST 나노종합팹센터 구축사업단(이하 사업단)은 올해 말까지 1단계로 대학 및 연구소 등이 활용할 실험 팹(fab)인 ‘파이랩’을 구축키로 하고 오는 8월부터 장비 발주에 나서기로 했다.

　사업단은 올해 말까지 ‘파이랩’을 구축한 데 이어 내년 9월까지 연구개발용 ‘소자랩’을 추가, 내년 하반기부터 나노종합팹센터를 시범 가동한다는 방침이다.

　이에 따라 그동안 팹 장비 가운데 가장 높은 국산화율에도 불구하고 외산 장비업체에 밀려 빛을 보지 못한 국내 CVD 장비업체들이 모처럼 장비 수주를 기대하고 있다.

　실제 주성엔지니어링·아토·아펙스·선익시스템 등 토종 CVD 장비업체들은 최근 장비수주를 위한 프레젠테이션을 끝내고 사업단의 행보에 촉각을 곤두세우고 있다.

　사업단은 장비 구입예산 총 1154억원 가운데 올해 1차로 500억∼600억원을 집행한다는 계획이며 특히 CVD 및 반도체 증착장비와 관련해 200억∼300억원에 달하는 예산을 투입한다는 방침이다.

　이에 앞서 사업단은 다음달 구체적인 장비 규격(spec)을 발표하고 장비업체들과 본격적인 장비 발주상담에 착수한다는 계획이다.

　사업단 한 관계자는 “일단 나노기술이 구현 가능한 최첨단 장비를 구비한 업체들이 발주 대상이기 때문에 국내 업체들만 유리하다고 볼 수는 없다”면서 “하지만 사업단이 제시한 규격을 어느 정도 맞출 경우 국책 사업인 만큼 국내 업체들이 한결 유리한 입장에 있는 게 사실”이라고 말했다.

　그는 또 “최근 업체들의 프레젠테이션에 비춰볼 때 국내 업체들 상당수가 나노종합팹센터가 요구하는 수준의 장비를 개발할 수 있을 것으로 판단된다”며 “특정업체에 수주물량이 집중되는 것을 피하는 것이 원칙인 만큼 적어도 100억원 이상의 예산이 국내 CVD 장비업체들에 고루 배정될 것으로 기대된다”고 전망했다.

　한편 나조종합팹센터 구축사업은 반도체·정보통신·생명공학 등 21세기 첨단산업의 핵심 인프라로 꼽히는 나노기술을 육성하기 위해 정부가 지난 2001년 수립한 ‘나노기술종합발전계획’의 일환으로 추진중이며 지난해 7월 한국과학기술원(KAIST)이 유치기관으로 선정된 바 있다. 　

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>

　

　<사진설명>

　나노종합팹센터 조감도.