MEMS 기술 상용화 급물살

정부가 지난 95년부터 725억원을 투입해 추진한 초소형 정밀기계(멤스:Micro Electro Mechanical System)기술개발사업이 결실을 맺기 시작하고 있다.

　이번 멤스기술개발사업은 산업자원부와 과학기술부가 공동으로 7년 4개월 동안 총 725억원(정부 380억원, 민간 345억원)을 투입해 진행한 사업으로 전자부품연구원(KETI) 주도 아래 삼성전자 등 60개 기관이 마이크로 미러 어레이 등 총 49개 과제를 수행했다. 산자부는 국가선도기술개발사업의 일환으로 추진된 이번 멤스개발사업을 통해 멤스의 기반기술 확보는 물론 나노사업의 기반 구축에도 일부분 기여했다고 분석했다.

　9일 산자부와 업계에 따르면 이번 사업을 통해 이미 국내에 멤스자이로·잉크젯 헤드·압력센서·프로브카드·마이크로 미러 어레이 등을 비롯해 198건이 특허출원됐고 69건이 등록된 상태다. 또 해외에서도 29건이 출원됐고 등록된 건수도 3건에 이른다.

　멤스기술을 이용한 프로브카드의 경우 파이컴(대표 이억기)이 최근 개발을 마치고 미국 현지법인을 통해 미국 마이크론에 샘플을 제공, 공동테스트를 진행 중이고 잉크젯 헤드의 경우 삼성종합기술원(원장 손욱)이 HP·캐논 등 해외 업체의 특허를 피해갈 수 있는 고성능 기술을 개발, 삼성전자를 통해 상용화할 전망이다.

　또 가전 및 정보통신용 초소형·저전력 멤스자이로 센서의 경우 삼성전기(대표 강호문)가 세계 최초로 개발, 시험생산 중이다. 삼성전기는 연내 이 제품의 양산준비를 마치고 본격적인 생산에 돌입할 예정이며 오는 2004년에 약 300억원의 매출을 올릴 수 있을 것으로 보고 있다.

　한국전자(대표 곽정소)도 지난달부터 멤스기술을 이용한 집적화된 압력센서를 출시, 올해 10만개를 생산해 50만달러의 매출을 기대하고 있다.

　이밖에 에이팩·아이에스텍·대우일렉트로닉스 등도 각각 초소형 매스에어플로센서와 적외선 이미지센서 어레이 등 멤스 응용제품 개발을 마치고 양산준비에 박차를 가하고 있다.

　한편 멤스는 반도체공정기술과 미세가공기술을 조합해 수㎛(1m의 1백만분의 1) 이하의 초미세 구조물이나 장치 등을 제작하고 시스템화하는 기술이다. 이 기술이 일상생활에 쓰일 경우 전자·기계·의료·방산 등 전산업 분야에 엄청난 변혁을 불러올 것으로 예측돼 세계 각국이 전략산업으로 육성하고 있다.

　<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>