반도체 소부장

삼성전자, 네덜란드 ASML과 기술협약

전자신문을 선호 매체로 추가

　삼성전자(대표 윤종용)는 네덜란드의 반도체장비 제조업체인 ASML과 기술도입에 관련한 글로벌 라이선스 협약을 맺었다고 28일 밝혔다.

　삼성전자가 ASML로부터 도입하는 기술은 반도체 노광공정에서 웨이퍼상의 회로 형상화 효율 및 반도체 수율을 개선할 수 있는 ‘스캐터링 바(scattering bar)’ 기술로 향후 삼성전자의 국내외 반도체 공장에서 사용하게 된다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>

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