참엔지니어링, 레이저 CVD장비 개발

　참엔지니어링(대표 한인수 http://www.charmeng.com)은 ‘레이저 CVD(Chemical Vapor Deposition) 리페어장비’를 개발했다고 3일 밝혔다. 이 제품은 LCD 기판에서 이물질 발생, 결함 등 미세한 불량을 찾아낸 후 레이저를 이용해 즉시 수리가 가능하도록 하는 장비다. 특히 이 제품은 적기적인 쇼트(단락) 결함은 물론 오픈(단락) 결함 수리도 동시에 수행할 수 있다고 회사측은 밝혔다.

　이 회사는 이 장비 개발로 생산수율 향상에 큰 도움을 줄 뿐 아니라 약 200억원의 수입대체 효과도 거둘 수 있을 것으로 기대했다.

　<안수민기자 smahn@etnews.co.kr>