AKT, FPD 제조용 300번째 CVD 시스템 공급

　평판디스플레이(FPD)용 PECVD(Plasma Enhanced CVD)장비시장 점유율 1위 업체인 AKT(대표 캠 로 http://appliedmaterials.com)가 300호기 PECVD장비를 출하했다.

　300호기 제품은 5세대 패널 제조용 ‘AKT-15K’로 LG필립스LCD에 공급됐다.

　‘AKT-15K’는 1000×1200㎜ 글라스를 가공할 수 있는 장비로 전공정에서 글라스 표면 회로구성시 증착기능을 수행한다.

　AKT는 이 장비 외에 1500×1800㎜ 글라스를 지원하는 ‘AKT-25K’ PECVD장비를 개발해 지난달 전세계에 동시 발표한 바 있다.

　세계 최대의 반도체장비업체 어플라이드머티리얼스의 자회사인 AKT는 90년대 중반 이후 매년 평균 35대 이상의 FPD용 CVD장비를 판매, 70% 이상의 시장점유율을 유지하고 있으며 FPD용 CVD장비의 주 고객사는 한국·일본·대만 등의 주요 FPD 제조업체다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>