유니셈, 반도체 웨이퍼 베이크 장비 개발 미국특허 획득

　반도체용 가스정화장치 전문업체 유니셈(대표 김경균 http://www.uni-sem.com)은 웨이퍼 온도편차를 0.5도 이하로 일정하게 유지해야 하는 매엽식(웨이퍼를 한장씩 처리하는) 공정에 쓰이는 반도체 웨이퍼 베이크(bake) 장치를 개발, 미국 특허를 획득했다고 25일 밝혔다.

　유니셈이 지난 2년 동안 약 1억5000만원을 투자해 개발한 이 장비는 감광액(포토레지스트)을 도포하는 등 웨이퍼의 온도를 균일하게 유지할 수 있도록 지원하는 것이 특징이다.

　 <손재권기자 gjack@etnews.co.kr>