어플라이드비전텍, 유기EL 검사장비 개발

　어플라이드비전텍(대표 최병곤 http://www.avtek.co.kr)이 차세대 디스플레이로 평가되는 유기EL(Electro Luminescence)용 검사장비를 개발했다.

　유기EL은 자체발광기능을 가지고 있어 전력효율이 뛰어나고 박막트랜지스터 공정 생략으로 LCD의 생산원가를 크게 낮출 수 있다는 점에서 최근 수요가 급증하고 있다.

　어플라이드비전텍이 개발한 검사장비는 검사용 비전솔루션을 이용한 유기EL 마스크의 다축정렬시스템과 유기EL패턴 검사시스템 등으로 구분된다.

　이 중 마스크 다축정렬시스템은 미크론(㎛)에서 밀리미터(㎜) 크기의 소자를 가공하기 전 또는 도중에 다축을 제어하는 기능과 메탈마스크와 섀도마스크를 자동으로 정렬하는 기능을 제공한다.

　패턴검사시스템은 유기EL 디스플레이 제작공정에서 결함을 검사하고 선폭측정도 병행할 수 있는 다용도 장비다.

　어플라이드비전텍은 최근 유기EL 패널 제조부문 국내 선두업체에 연구용 장비를 시험공급한 데 이어 이달중에는 양산용 장비를 추가로 공급한다는 계획이다.

　이번 유기EL 검사장비의 개발에 따라 비전시스템 및 영상처리 응용기술 전문업체인 어플라이드비전텍의 상품은 웨이퍼, 펠리클, 캐필러리, 유기EL 증착 및 패턴, 인쇄회로기판(PCB), 선박 엔진, 특수 테이프 등의 검사장비로 다양해졌으며 진행중인 편광판, 스크린 마스크, 연성 인쇄회로기판(PCB), 자동차부품 등의 검사장비 개발을 내년 초까지 마무리, 상품 다양화와 매출 극대화에 나선다는 계획이다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>