반도체 제조용 장비를 생산하는 아토(대표 문상영 http://www.atto.co.kr)는 독일의 반도체장비업체 센트로섬(Centrotherm)과 기술협력을 포함한 전략적 제휴를 맺었다고 12일 밝혔다.
이에 따라 아토는 센트로섬이 개발한 직화식 가스 스크러버 및 기타 반도체장비에 대한 아시아지역 판매권을 확보하는 동시에 내년 상반기까지 단계적인 기술협력을 통해 직화식 가스 스크러버를 자체 생산, 판매하게 된다.
또 센트로섬은 아토가 개발한 화학기상증착(CVD)장비, 가스공급장치, 가스정제장치 등에 대해 미국 및 유럽시장에 판매를 대행할 수 있는 권한을 획득했다.
아토의 문상영 사장은 “주력품목으로 육성중인 CVD장비를 포함해 다양한 전공정장비를 국내 장비업계 최초로 유럽시장에 선보일 수 있는 토대를 확보했다”며 “2010년까지 과불화탄소(PFC)의 방출을 제한하고 있는 세계반도체협의회의 규정도 이번 기술제휴로 해결이 가능해 해외시장에서의 영향력을 한층 확대할 수 있을 것으로 본다”고 말했다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>
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