한양대 BK21재료사업단, `원자층증착` 콘퍼런스 19일부터 사흘간

　한양대학교 BK21 재료사업단(단장 전형탁)은 미국진공학회(AVS) 박막분과와 공동으로 오는 19일부터 21일까지 사흘간 한양대학교 한양종합기술센터(HIT)에서 ‘원자층증착(ALD:Atomic Layer Deposition) 2002 콘퍼런스’를 가질 예정이다.

　테라급 나노소재 개발사업단에서 후원하는 이번 콘퍼런스에서는 ALD 기술을 이용한 박막 성장의 특징 및 특성을 조명하고 응용 분야인 고유전막 증착, 자기 메모리 분야(magnetic read/write heads)와 미세전자기계시스템(MEMS:멤스) 분야에 대한 연구결과가 소개될 예정이다.

　문의 (02) 2290-0387

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>