특허청, 반도체 제조 공정 용어 사전 발간

　특허청은 최근 반도체 제조공정에 사용되는 용어들을 정리·편집한 ‘반도체 제조공정 용어사전’을 발간했다고 8일 밝혔다.

　이 책자는 2500여개의 반도체 관련 개별 용어는 물론 반도체 제조공정을 공정 순서별로 간략히 설명, 일반인도 공정 및 용어를 쉽게 이해할 수 있도록 했다.

　<대전=신선미기자 smshin@etnews.co.kr>