<한국반도체산업대전2001>기타출품업체:선재하이테크

◆선재하이테크-정전기 제거장비



　선재하이테크(대표 이동훈)는 국립부경대 안전공학과 이동훈 교수가 정전기제거, 감시 및 측정장치 개발을 목적으로 지난해 설립한 벤처기업이다. 　

　이 회사의 정전기관련 방지기술력은 국내외적으로 독보적인 수준으로 평가를 받고 있는데 이는 정전기가 LCD 및 반도체소자의 파괴나 먼지부착 등의 원인으로 제품의 수율을 저하시키고 제조원가를 상승시키는 원인이 되기 때문이다. 　

　선재하이테크가 이번 전시회에 선보이는 제품은 LCD 및 반도체제조공정과 의료용 장비, 콘덴서 제조공정, 필름생산업체 및 가연성물질을 가공·저장 및 취급하는 화학공장에 적합한 정전기 제거장치다. 　

　이중 광조사식 정전기제거장치(photo-Ionizer)는 정전기를 띠고 있는 대전물체에 연X선을 조사하여 주위공기입자를 전리시켜 양전하 및 음전하를 생성, 대전물체의 정전기를 중화시켜 제거하는 것이다.

　

　또한 기존의 코로나방전식 정전기제거장치의 최대 단점으로 지적된 발진 및 주기적인 보수·유지 등의 문제점을 완전히 해결해 공기청정이 필수적인 LCD 및 반도체제조공정 분야에 적용된다. 광조사식 정전기제거장치는 기존의 수입품에 비해 가격과 수명, 성능면에서 일본제품에 비해 우수한 점을 인정받아 삼성SDI와 삼성전자 기흥사업장 LCD 사업부 일부라인에 시범설치돼 안정적으로 적용함으로써 그 기술력을 인정을 받은 상황이다. 　

　선재하이테크는 또 세라믹관을 이용한 초소형 광조사식 정전기제거장치도 선보일 계획이다.