<국제로봇자동화기기전>산업용 로봇-아이램테크

아이램테크(대표 황찬영)는 이번 전시회에 덤핑로봇과 웨이퍼전송로봇(모델명 SMART IS300A, ID300A) 등 300㎜용 장비를 대거 출품한다.

　덤핑로봇은 클린 클라스1을 만족시키는 고청정 환경용 웨이퍼 반송로봇으로 3축으로 구성돼 있으며 300㎜ 웨이퍼 25장을 동시에 핸들링할 수 있다.

　세라믹 핸드를 장착해 정전기가 일어나지 않는 이 제품은 전축에 AC 서보모터를 채용, 유지보수가 편리하며 최적의 위치 및 가감속 속도 제어에 의해 고속·고정도 운동을 실현했다. RS232C 및 병렬 I/O 포트를 내장, 편리한 외부제어기능을 가지는 이 제품은 선택사양으로 웨이퍼 유무 감지센서를 장착할 수 있다.

　SMART IS300A는 싱글 암 타입의 로봇으로 콤팩트한 구조로 디자인 돼 설치공간을 최소화했으며 정전기가 없는 세라믹 핸드에 의한 진공 흡착기능을 가지고 있다. 최소회전반경 R215㎜, 최대가반하중 0.5㎏, 반복정밀도 ±0.1㎜를 실현한 이 제품은 웨이퍼매핑 및 유무 감지센서, 전축 AC서보모터를 채용해 유지보수가 간편하다.

　SMART ID300A는 3축 혹은 4축으로 구성된 로봇으로 청정도, 유연성, 신뢰성이 요구되는 공정에 이상적인 로봇 구조를 가지고 있다. 작업영역을 크게 525㎜까지 확장할 수 있고 듀얼 암 적용으로 웨이퍼 교환을 신속히 처리할 수 있다. 최소회전반경 R260㎜, 최대가반하중 0.5㎏, 반복정밀도 ±0.1㎜다.