아토, 반도체공정 및 정보통신부가장비 등으로 사업다각화 나서

반도체 제조공정용 가스공급장비 생산업체인 아토(대표 문상영 http://www.atto.co.kr)는 반도체 일관생산(FAB) 공정장비 및 정보통신장비 등으로 사업을 다각화한다고 5일 밝혔다.

이 회사는 가스에 대한 종합적인 솔루션을 제공하기 위해 반도체 제조과정에서 발생하는 유독가스와 과불화탄소(PFC) 계열 가스를 정제하는 가스정제장치(스크러버)를 상반기안으로 개발할 계획이다.

또 지난해말부터 추진해온 플라즈마화학증착(PECVD) 공정장치의 개발도 상반기안에 마쳐 반도체 공정장비 시장에도 신규 진출할 예정이다,

이밖에 아토는 최근 10억원의 자본금으로 에이알티라는 별도법인을 설립, 개인휴대단말기(PDA)용 접이식 키보드사업을 추진중이며 웨이퍼 세정장비의 개발도 추진중이다.

이와 관련, 아토의 오순봉 회장은 삼성전자 반도체양산기획팀 이사 출신인 문상영씨를 전문경영인으로 영입해 경영을 맡기고 자신은 에이알티의 경영에 전념하고 있다.

오순봉 회장은 “아토의 품목다각화와 계열사 에이알티의 신사업을 통해 전문성과 다양성을 동시에 충족시킬 계획”이라고 말했다.

<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>