[SEDEX KOREA 2000]산업자원부장관상-신성이엔지

★SMIF/FIMS시스템

신성이엔지(대표 이완근)는 웨이퍼를 각종 오염원으로부터 완전 차단, 고품질 반도체를 생산할 수 있도록 한 신개념 SMIF/FIMS 시스템으로 이번 산업대전 제품부문 장관상을 받았다.

웨이퍼 제조장치간 인터페이스 국제규격에 따라 각각 SMIF(200㎜용), FIMS(300㎜용)로 분류되는 이 시스템은 외부환경과 완전 차단해 고청정도를 확보한 공간 속에서 반도체 제조공정을 진행한다.

이 시스템은 웨이퍼가 클린룸에 노출돼 클린룸의 환경변화에 따라 오염원으로부터 쉽게 영향을 받는 전통적 반도체 생산방식과 달리 FOUP라는 밀폐된 특수용기에 웨이퍼를 보관, 운반한다. 또 반도체의 제조 역시 고청정도를 확보한 공간에서 이뤄진다.

이에 따라 생산설비 노화로 인한 화학적 누설을 비롯해 정전사고로 인한 배기중

단, 생산라인 출입작업자 등에게 발생하는 미진, 화학가스·불순물·이온 등 공정 대기중인 웨이퍼를 오염시켜 제품 수율을 저하시키는 원인을 원천적으로 방지해 준다.

또 FOUP 오프너와 FIMS 로더는 FOUP를 개방해 FOUP내부에 있는 웨이퍼를 공정장비에 로딩/언로딩해 주는 일종의 인터페이스 시스템으로 차세대 300㎜ 웨이퍼 FAB 구축 공정장비에 부착된다. 특히 300㎜ FOUP 오프너 및 FIMS 로더 시스템은 기존 반도체 생산방식을 벗어나 오염원으로부터 완벽한 차단이 가능하다.

신성이엔지는 SMIF/FIMS가 미국·독일 등 일부 선진국에서 개발, 생산되고 있는 정도로, 자사 제품은 외산에 비해 기술 및 가격경쟁력이 뛰어나 조만간 300㎜시장이 본격화되면 수요가 크게 늘 것으로 기대한다.