지우테크, 반도체·LCD공정장비 관리시스템 개발 공급

반도체 공정관리시스템 개발 벤처업체인 지우테크(대표 이만봉 http://www.jiwootec.com)는 반도체 제조공정장비 관리시스템(모델명 DeRae)을 자체 개발하고 공급에 나섰다.

지우테크는 최근 삼성전자에 이어 현대전자의 반도체 생산라인에 공정장비 관리시스템용 모듈 10여대를 성공적으로 공급했다고 17일 밝혔다.

이 회사가 개발·공급하는 공정장비 관리시스템 「DeRae」는 반도체 표준 통신 프로토콜인 「SECS/GEM」을 이용해 공정데이터를 실시간으로 처리, 반도체 제조공정중 발생하는 불량원인을 파악하고 공정장비의 이력을 관리함으로써 생산수율을 향상시킬 수 있는 시스템이다.

아울러 멀티 롯(multi-lot), 멀티 웨이퍼(multi-wafer)에 대한 데이터 분석과 파라미터 추이(parameter trend)의 비교가 가능하며, 공정조건 입력 후 이에 맞는 공정결과 데이터를 추적하는 기능과 레퍼런스 신호(reference signal) 설정을 통한 데이터 비교·분석기능 등을 갖췄다.

이만봉 사장은 『이 시스템은 네트워크를 이용해 사무실에서 실시간으로 반도체 제조공정장비의 상태를 파악할 수 있어 생산관리를 획기적으로 개선할 수 있다』면서 『앞으로 액정표시장치(LCD) 제조공정용 장비의 관리시스템도 개발하는 등 올해 이 분야에서 15억원의 매출을 올릴 계획』이라고 밝혔다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>