한국세미툴, 반도체 세정장비 공급 본격화

미국계 반도체 제조 전공정장비업체인 한국세미툴(대표 최형남 http://www.semitool.com)이 웨이퍼 세정공정장비의 공급에 적극 나섰다.

한국세미툴은 최근 국내 소자업체로부터 웨이퍼 일괄 세정장비인 「스펙트럼」 7대를 수주해 이달부터 공급에 나서는 한편, 또 다른 후발 소자업체의 신규 투자물량에 대한 수주활동도 진행중이라고 17일 밝혔다.

이번에 공급하는 「스펙트럼」은 화학·기계적연마(CMP) 공정 후 웨이퍼 세정공정에 사용되는 스프레이 방식의 장비로 자동기판이송 기능을 갖추고 있으며 장비 크기가 기존제품의 절반 정도로 줄었고 50장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있다. 아울러 차세대 구리칩 제조공정에도 확대 채택이 가능하다.

이 회사는 또 지난해 선보인 단일기판(매엽식) 세정장비인 「밀레니엄」도 올하반기나 내년 초부터 국내 소자업체 생산라인에서 테스트를 실시하기로 했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>