아이램테크, 웨이퍼.대형 LCD 이동 반송용 로봇 개발

　아이램테크(대표 황찬영)가 웨이퍼 및 대형 액정표시장치(LCD)를 이동시키는 반송용 로봇을 개발했다고 19일 밝혔다.

　웨이퍼 반송용 로봇은 최대 12인치(300㎜) 크기의 웨이퍼를 이송시키는 장비로 약 1.5㎏의 가반하중을 갖고 있으며 청정도·유연성·신뢰성이 요구되는 공정에 사용된다. 3축 또는 4축으로 구성된 이 로봇은 팔과 Z축을 모듈화해 유연성이 뛰어나고 세라믹핸드에 의한 진공흡착기능을 갖고 있다. 웨이퍼 감지 및 위치제어(Mapping)센서를 채택했으며 RS­232C 및 병렬 I/O포트를 통해 외부에서 조정할 수도 있다. 방수형(스마트 IS200W)과 일반형(스마트 IS200A) 등 두가지다.

　4, 5축으로 구성된 LCD 반송용 로봇(스마트 ID7392)은 클래스10 수준의 청정도를 만족시키며 최대 730×920㎜ 크기의 LCD를 운반한다. 상하운동축이 2단으로 구성된 텔레스코픽 운동 메커니즘을 채택, 패스라인을 1m까지 맞출 수 있다. 센서에 의한 LCD 감지기능을 갖고 있으며 핸드핑거(Handfinger)상에 형성된 진공흡착장치는 LCD의 중간지점을 흡착고정시켜 운반 도중이나 카세트 입출고시 위치틀어짐을 방지할 수 있다.

　문의 (0331)223-6276

이일주기자 forextra@etnews.co.kr