<화요특집-KOSE 99> 주요업체 출품작.. 선양테크 "인라인시스템"

　선양테크(대표 정도화)는 몰드에서 싱귤레이션까지의 공정을 한 장비에서 일괄처리할 수 있는 「인라인시스템」을 선보인다.

　이 시스템은 반도체 백엔드라인에서 사용되는 몰드, 마킹, 트림, 폼, 싱귤레이션 등의 공정을 일괄처리할 수 있다. 이 제품은 전공정인 오토몰드/PMC와 후공정인 테스트 핸들러를 논스톱으로 연결, 작업능률을 향상시킬 수 있는 게 특징이다. 품질이 양호한 반도체를 생산할 수 있으며 생산성 역시 증대할 수 있다. 소형으로 공간을 많이 차지하지 않으며 스탠드얼론형의 경우 2.5일, 인라인형일 때는 10시간 가량이 작업시간으로 소요된다.

　93년에 설립된 선양테크는 반도체장비 제조 전문업체로 인라인 시스템을 개발해 30여대 해외에 수출했으며 최근에는 마이크로볼그리드어레이, 플렉시블BGA 제조공정에 필요한 라미네이터, 커버레이 어태치 장비들도 개발·완료해 국내외에 공급중이다. 특히 라미네이션시스템은 세계 최초로 개발에 성공한 것으로 이 분야에서 세계 최고의 기술을 보유하게 됨은 물론 수출효과도 기대되는 품목이다.