<화요특집-KOSE 99> 주요업체 출품작.. 한국디엔에스 "K-스핀8 스피너"

　반도체 제조장비와 FPD제조장비를 생산하는 한국디엔에스(대표 박창현)는 IR­52 장영실상과 철탑 산업훈장을 수상한 초자외선 공정용 반도체 종합도포 현상장치인 「K­스핀 8」 스피너(Spinner)를 대표상품으로 선보인다.

　이 설비는 64M 3세대 이상 공정에 대응하도록 설계·제작됐으며 편리성과 생산성 향상을 고려한 신개념의 도포현상기로서 설치면적이 40% 이상 줄어든 콤팩트 디자인(Compact Design)과 높은 생산효율을 제공한다. 국내외에 7건의 특허를 출원한 「K­스핀 8」은 중앙 컴퓨터 제어에 따라 각 유닛 서브컨트롤러(Unit Subcontroler)가 연속적으로 웨이퍼를 처리·반송하며 CPU 자동세정기능, 메탈프리(Metal Free)배관 등을 통해 높은 청정도를 유지한다.

　기존 장비의 경우 노광후 오븐(Peb)의 온도균일 및 웨이퍼 정체시간관리가 문제로 지적됐는데 「K­스핀 8」은 스윙암(Swing Arm)을 통하여 정확히 제어되고 고속카메라를 장착, 현상액의 양을 정밀 조절할 수 있다. 특히 응용 소프트웨어를 독자 개발, 사용자 편의를 고려하고 한글화가 가능한 것이 특징이다.

　한국디엔에스는 또 차세대 300㎜ 대응의 자동표면세정장치인 「K­WET 300」을 개발·생산하고 있으며 특히 이 설비는 디자인룰(Design Rull)이 더욱 미세화하는 신 프로세스기술에 적용 가능한 웨이퍼 세정장치라는 점에서 주목할 만한 장비다.