<화요특집-FPD 엑스포 99> 주요 장비업체 출품작.. 코토.디벨로퍼

도쿄일렉트론 "코토.디벨로퍼"

　도쿄일렉트론(대표 곽태균)이 선보인 설비는 LCD용 코터·디벨로퍼(Coater/Developer)와 플라즈마 에칭·애싱(Plasma Etching/Ashing) 장비다.

　모델명이 「CS­800」인 코터·디벨로퍼는 TFT LCD 공정에 사용하는 최신 장비로, 표준 대응 글래스 크기인 650×830㎜를 지원하며 높은 장비 신뢰성을 바탕으로 고 프로세스 성능을 실현한다.

　각종 인라인 접속과 생산라인의 자동화 대응이 가능, 유연한 시스템을 구성할 수 있게 한다.

　이 장비는 레지스트 막두께와 현상폭의 균일성을 유지할 수 있도록 하는 한편 성능을 향상시킬 수 있는 시스템으로, 사용할 경우 운영비를 절감할 수 있다.

　또 각종 노광기 및 주변기기와 회선을 통해 접속할 수 있고 AGV·CIM시스템에 의한 생산도 자동으로 지원한다.

　「ME­700」으로 불리는 플라즈마 애칭·애싱 장비는 높은 납입실적을 가진 장비로 최신의 매엽식 장비다.

　표준 대응 글래스 크기는 600×720㎜이며 폭넓은 애플리케이션에 대한 높은 프로세스 성능을 제공하는 것이 장점이다.

　이에 따라 생산성이 뛰어나고 신뢰성이 좋으며 다양한 애플리케이션을 지원한다. 이 제품은 특히 양산공정 과정에서 AGV·CIM 자동화가 가능하다.