<화요특집-FPD 엑스포 99> 주요 장비업체 출품작.. 글래스 슬리밍시스템

시스템테크놀로지 "글래스 슬리밍시스템"

　시스템테크놀로지(대표 노승민)가 출품한 제품은 「LCD 글래스 슬리밍시스템」 「LCD 카세트 클리너」 「중앙 케미컬 공급시스템」 등 세가지 장비다.

　LCD 글래스 슬리밍시스템은 TFT LCD 두께를 슬림화하는 장비로 에칭 과정에서 HF에 의해 3개의 수조를 사용할 수 있으며 제품을 로봇으로 자동이동시키는 기능도 갖고 있다.

　TFT LCD를 한개 처리하는 데 30∼60초 가량이 소요되며 논리연산제어장치(PLC)와 윈도NT를 통해 작동할 수 있는 완전자동화 시스템이다.

　본체와 HF 희석·제어시스템, 케미컬 전달 유닛, 필터 유닛, 칠러 유닛 등으로 구성된다.

　LCD 카세트 클리너는 590×670㎜ 크기의 TFT LCD용 카세트를 깨끗하게 해주는 장비로, 노즐 스프레이 방식과 카세트 로테이션 방식으로 작동된다.

　TFT LCD를 자동으로 이동시키며 제품 구입시 선택사항으로 스토커와 AGV를 지원한다. 7분당 제품 1개씩을 처리하며 역시 PLC 및 터치스크린 방식을 채택한 완전자동화 시스템이다.

　메인 체임버와 로딩·언로딩 포트, 전송컨베이어, 컨트롤 유닛 등으로 구성된다.

　중앙 케미컬 공급시스템은 탱크의 밀집도가 크고 완전 자동화된 시스템으로 터치스크린으로 작업과정을 모니터링할 수 있다.

　유지보수가 용이하도록 시스템이 구조화됐으며 작업자가 편안하게 작업할 수 있는 환경을 제공한다.