반도체 장비용 핵심 모듈 국산화 열기 뜨겁다

　첨단 반도체 장비에 들어가는 핵심 모듈 개발 및 출시가 활기를 띠고 있다.

　4일 관련업계에 따르면 최근들어 국내 주요 반도체 장비업체들이 체임버, 초순수 가열장치, 유량계, 반도체 레이저 소스 등과 같은 반도체 장비용 핵심 모듈을 잇따라 개발, 선보이면서 국산 모듈의 채용 사례가 증가하고 있다.

　또한 최근 중견 반도체 장비업체들 사이에는 그동안 장비 생산에 필요한 대부분의 모듈 제품을 자체 생산해오던 관례에서 벗어나 모듈의 개발 및 생산을 담당할 전문 자회사를 설립하고 이 업체와 공동 협력체제를 맺는 경우도 등장해 주목된다.

　특히 IMF이후 국내 소자 업체들은 반도체 설비투자 비용절감을 위해 노후한 외산 장비의 핵심 모듈만 교체하고 재사용할 경우 이에 필요한 대부분의 소모 부품은 국산 제품을 사용함으로써 이 시장 또한 국산 장비 모듈의 주요 수요처로 떠오르고 있다.

　이런 가운데 반도체 장비업체인 실리콘테크는 케미컬 공급장치, 코터(Coater), 디벨로퍼(Developer), 웨이퍼주변노광(WEE:Wafer Edge Exposure) 시스템 등과 같은 차세대 트랙장비용 핵심 모듈을 잇따라 개발, 국내외 시장에서 좋은 반응을 얻고 있다.

　반도체 테스터용 핵심 모듈인 번인 체임버의 경우 우진정공이 알파칩용 번인 체임버까지 개발, 공급한 데 이어 LCD용 에이징 테스터업체인 오성과학도 차세대 반도체 챔버 개발을 추진하고 있다.

　또한 반도체 장비업체인 한양트레이딩은 웨트스테이션 장비에 부착, 상온 상태인 초순수를 설정온도 수준까지 가열해 공급하는 초순수 가열장치 「PWH」 시리즈를 개발, 현재 양산중이다.

　반도체 장비에 부착돼 각종 초순수 및 케미컬의 유량을 정확히 측정하는 초정밀 유량계(Flow Meter) 분야도 SEBA와 한국린텍이 각각 사이클론 터빈타입의 전자식 유량계 및 면적식 유량계를 개발, 출시했다.

　반도체 장비의 각종 복잡한 기능을 버튼, 터치스크린, 음성, 그래픽 등으로 처리해 사용자가 장비를 손쉽게 사용할 수 있도록 하는 장비 제어용 모니터링시스템의 경우 최근 엠투아이가 관련제품을 개발하고 본격적인 솔루션 제공에 나섰다.

　웨이퍼 세척용 핵심 모듈인 초음파 세정기 분야에서도 경일초음파가 메가 소닉 제품을 개발, 이미 국내 전체 수요의 절반 이상을 국산으로 대체하고 있으며 반도체 장비업체인 태양테크도 웨트스테이션용 간접 히팅 장비인 「CS­Heater」를 개발, 공급하고 있다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>